多くの顧客仕様に基づくウェーハ移載装置の実績により一品一様装置に迅速対応
特殊カセット対応、ウェーハ反転、ID読み取り、ソーティング、卓上小型装置など顧客の要望を網羅
半導体で培った技術によって太陽電池業界(ソーラーセル)での「薄セル対応」「反りセル対応「高温セル対応」「洗浄セル対応」を可能にしました。
TAZMO,JEL,安川,HIRATA,ASYSTシンコー, YAMAHA,ユーシン精機,IAI、他
デバイスメーカ:約32社 装置メーカ:約96社 技術供与企業:2社 (09年1月現在)