KUMADEウェーハアライナー

極薄ウェーハアライナー KMAL-SF シリーズ

50μm 極薄ウェーハ対応部分触式(接触材質:フッ素ゴム)にてウェーハのズレを防止しながら、吸着の約1/360という力でウェーハを優しく保持します。
反りウェーハ対応KUMADE独自の自己整合保持機能により、反ったウェーハを大きな力で引き付けることが可能です。
各種サイズ対応小径ウェーハから大口径ウェーハまで対応しています。
拡張性KUMADE Fork、Circleを加えて極薄搬送システムを製作することが可能です。
  • KMAL-0408SF

    適応品種:(3),4,5,6,8 inch
    位置決時間:10 Sec以内
    位置決精度:±0.1mm ±0.1°
    駆動方式:5相ステッピングモータ4軸使用
    制御方式:RS232Cコマンド
    電源:DC24V±10% 5A
    エアー:40~75 SLM
    質量:15kg

    ※8インチ、50μm対応時はチャックテーブル大口径化の為、適応品種を限定させていただきます。

  • KMAL-0012SF-TS

    適応品種:12 inch
    位置決時間:9 Sec以内
    位置決精度:±0.1mm ±0.1°
    駆動方式:5相ステッピングモータ4軸使用
    制御方式:RS232Cコマンド
    電源:DC24V±10% 5A
    エアー:60~120 SLM
    質量:35kg
  • KUMADE ストレスフリータイプ Stress Free (SF)
  • KUMADE サイドコンタクトタイプ Side Contact (SC)
  • KUMADE べベルコンタクトタイプ Bevel Contact (BC)
  • KUMADE 搬送システム