ベベルコンタクトタイプ(BC) の特徴

極薄ウェーハとベアウェーハの中間厚のウェーハやTAIKOウェーハ搬送に適しています。
特にTAIKOウェーハでは極薄(50μm以下)でもハンドリング対応可能で、低ストレスでありながら、有効エリアも触れずに反転動作も可能です。

サポート方法:ウェーハのベベルをサポートする方法

種類と特徴

◎:最適 ○:やや適

種類FORK(薄型タイプ)CIRCLE(広面積保持タイプ)HOLDER(マニュアルピンセットタイプ)CUP(KUMADEベーシックタイプ)
SC*BC*SF*SC*BC*SF*
ロボット対応
カセットアクセス
極薄WF対応
反りWF対応
クリーン度重視
MEMS対応
高温対応
高速対応

*SC:サイドコンタクトタイプ (Side Contact)*BC:べベルコンタクトタイプ(Bevel Contact)*SF:ストレスフリータイプ(Stress Free)

配管図

BC.SFタイプ別配管図
品番名称 品番名称
(1)レギュレータ (2)3ポートバルブ(N.C.)
(3)3ポートバルブ(N.C.) (4)クリーンフィルタ

※禁油処理品の使用を推奨します。
既存真空吸タイプからの変更も可能です。