KUMADE 広面積保持タイプ(Circle) コインスタック式ケース対応非接触

  • ・極薄ウェーハへのストレスフリー
  • ・極薄ウェーハ搬送時のワレ・クラック解消
  • ・コインスタック式搬送ケースへの対応可能
  • ・ウェーハへのパーティクル転写の解消
  • ・ウェーハ表面へのローディングアクセスが可能
  • ・静電気帯及び剥離帯電の解消
  • ・搬送中にセンタリングを行い装置タクトタイムの低減

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外観・寸法図

オプション

  • ステージとしての利用

    極薄で反りあがったウェーハでも矯正し保持することも可能です。
    ステージやハンドとしての使用が可能です。エアー吐出部の局部的な歪みなどもありません。

  • 様々な材質への対応

    これはCIRCLE型と呼ばれる主に極薄ウェーハ搬送用としてお使いいただくものです。既にお客様において8インチ25ミクロン厚のウェーハ搬送が確認されています。
    6箇所に突き出た部分が空気吐出部となっており、外周には先ほどと同様にウェーハの横ズレ防止用の保持ピンがあります。

  • KUMADE ストレスフリータイプ Stress Free (SF)
  • KUMADE サイドコンタクトタイプ Side Contact (SC)
  • KUMADE べベルコンタクトタイプ Bevel Contact (BC)
  • KUMADE 搬送システム