KUMADEに関するQ&A

Q1ウェーハとKUMADEのギャップを変更することは可能ですか?
A1ギャップと流量でバランスをとっているため、変更は不可能です。
Q2標準品での耐熱温度は何度ですか?
A280℃ですが、パドルの材質をセラミックに変えると200℃まで可能です。
Q3今までで一番高い温度で使用したのは何度ですか?
A3熱処理装置の使用で、アクセス温度900℃で使用しております。
Q4標準型を使用し、エアー配管をロボット内に収納しようと思いますが、何φが必要ですか?
A4外径φ6が1本と、ガイド駆動用にφ4が1本必要です。また、ワーク有無検出がある場合は、信号線が含まれます。なお、ガイド用配管はマイクロチューブ(φ1.8)でも対応可能です。
Q5どのメーカーのロボットにも搭載は可能ですか?
A5ご要望に応じて取り付けブラケットまで製作しますので、搭載可能です。
Q6どの位の反りや歪みまで対応可能ですか?
A6製品の厚さや使用方法によって異なりますが、接触式であれば10mm以上の反りや歪みがあっても保持・搬送が可能です。
Q7ハンドの厚さは、どの位まで薄くすることができますか?
A7厚さ1.8mmのセラミクス製ハンド(6インチ、8インチ用)を製作した実績があります。
Q8非接触・低応力以外のメリットはありますか?
A8真空吸着のように装置内に汚れや薬液を吸い込むことがないので、内部の電磁弁等が破損しません。
Q9気流を乱しパーティクルを巻き上げることはありませんか?静電気帯電や、帯電によるパーティクルの付着はどうですか?
A9パーティクル問題解消のため、ご担当者様が必要と思われるウェーハへのパーティクル付着データ、ミニエンバイロメントデータ、静電気帯電データを取り揃えましたので、お気軽にお問い合わせください。
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Q10KUMADEってユニークな名前ですが、由来を教えてください。
A10

弊社がKUMADE開発に至るまで、様々な形でご尽力いただいた方の名前が隈(くま)氏でした。隈氏の開発に対する姿勢や志を技術と共に継承すると同時に、隈氏の文字を製品名に入れたいと考えていました。
この製品は一般的にはハンドと呼ばれることが多く、ハンド=手、などど考えている中から、くま+て=くまで(KUMADE)となりました。

またKUMADE(熊手)は縁起物とされ、幸運を招くとされています。本製品をご使用の皆様に幸運が訪れることを願い決定しました。 名前の由来に負けないよう、社員一同日々志し高く、お客様のお役に立ち、お客様に幸運が訪れる良き縁となれるよう製品開発を進めてまいりたいと思います。

  • KUMADE ストレスフリータイプ Stress Free (SF)
  • KUMADE サイドコンタクトタイプ Side Contact (SC)
  • KUMADE べベルコンタクトタイプ Bevel Contact (BC)
  • KUMADE 搬送システム