KUMADE 薄型タイプ(Fork) ロボット用エンドエフェクター対応非接触

  • ・ロボット用エンドエフェクターとして使用可能
  • ・ウェーハカセットへのアクセスが可能
  • ・ウェーハへのパーティクル転写の解消
  • ・ウェーハ表面へのローディングアクセスが可能
  • ・静電気帯及び剥離帯電の解消
  • ・搬送中にセンタリングを行い装置タクトタイムの低減

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外観・寸法図

オプション

  • 先端ウェーハ有無検出センサー付き

    ハンド先端に透過型ファイバセンサーを組み込み、カセット内ウェーハの有無を検出できるようにしました。

  • 高速搬送型ガイドレスタイプ

    約400℃の高温ウェーハを吐出エアーにて冷却しながら搬送します。これによりウェーハの冷却時間を短縮でき、タクトタイムの向上に貢献しました。

  • MEMSウェーハ対応

    MEMSの搬送に数多く使用されています。

  • 様々な材質への対応

    • KMWC-08 PET材

      耐薬品用としてウェットエッチング装置に搭載されています。

    • KMWF-08 セラミック材

      ハンド全高への制約と高剛性化に対応しました。

    • KMWF-12 石英材

      約1000℃の炉内に直接アクセスし、非接触にて搬送しました。

  • KUMADE ストレスフリータイプ Stress Free (SF)
  • KUMADE サイドコンタクトタイプ Side Contact (SC)
  • KUMADE べベルコンタクトタイプ Bevel Contact (BC)
  • KUMADE 搬送システム