KUMADEとは 円筒室内にて高速の旋回流を発生させ、旋回流中心部の負圧により、ウェーハを保持する新しい概念から生まれたVoltex Chuckです。(円筒室内で発生する竜巻をイメージしてください)

特徴

非接触

・円筒室内の負圧によってウェーハを浮上させ、円筒室から流出する流体等によって非接触(0.1mm~0.2mmスキ間)にてウェーハを保持することが可能です。

・非接触のため高クリーン搬送を実現し、パーティクルの付着を低減します。

・従来品と違い吐出エアーによる帯電も解消されております。

低ストレス

・KUMADE独自の技術により、広範囲に負圧を発生させることが可能なため、薄くなったウェーハや、15mm程度反り上がったウェーハを矯正し安全・安心に搬送することが可能です。

・ウェーハ自体が受けるストレスが真空吸着と比べると桁違いに(約1/360)低くなっております。

省エネ・薄型化

・従来品の約1/7の消費流量にて機能を発揮します。

・従来品とエアー吐出方法が違い、ウェーハに対し平行に吐出するため、KUMADE自体の厚みを薄くすることができ、ロボットのエンドエフェクターへの使用が可能です。

高矯正力

KUMADE独自の自己整合保持機能により、反ったウェーハを大きな力で引き付けることが可能です。

シリーズ一覧

製品のサポート方法

種類と特徴で選定

◎:最適 ○:やや適

種類FORK(薄型タイプ)CIRCLE(広面積保持タイプ)HOLDER(マニュアルピンセットタイプ)CUP(KUMADEベーシックタイプ)
SC*BC*SF*SC*BC*SF*
ロボット対応
カセットアクセス
極薄WF対応
反りWF対応
クリーン度重視
MEMS対応
高温対応
高速対応

*SC:サイドコンタクトタイプ (Side Contact)*BC:べベルコンタクトタイプ(Bevel Contact)*SF:ストレスフリータイプ(Stress Free)

型式表示方法

  • KMWF-08SC
  • KMWH-1A
  • KMCP-60SFCW

タイプ別配管図

  • SCタイプ別配管図
  • BC.SFタイプ別配管図
品番名称 品番名称 品番名称 品番名称
(1)レギュレータ (2)3ポートバルブ(N.C.) (3)3ポートバルブ(N.C.) (4)クリーンフィルタ

※禁油処理品の使用を推奨します。
既存真空吸タイプからの変更も可能です。

搬送比較表

POINT 旋回流を利用した新たなる概念のVORTEX CHUCK 従来品エアー消費量の81%を低減!

吸着全面吸着従来ベルヌイKUMADE
薄ウェーハ×
吸着部でのワレ

パーティクル挟込によるワレ

エアー衝突によるストレスと帯電

エアーの衝突は皆無
反りウェーハ×
吸着できない

押さえつけないと吸着不可能

反り修正力弱く、安定搬送できない

反り修正力強く、安定搬送可能
両面パターンウェーハ×
パーティクル付着、吸着痕
×
パーティクル付着、吸着痕

エアー消費従来の25%
吸引力吸引力 9.17g/m㎡-吸引力
0.0025g/m㎡

社内ラボ常設・納入実績・知的財産権証明書

  • デモ対応(常時サポート)

    ご希望の日時、希望デモ製品をご連絡いただければ常時デモの対応を行います。

  • 搬送実験サポート

    貴社のウェーハを持ち込んでの搬送実験も可能です。また弊社技術者による顧客提案も行います。
    お申込みはこちら

  • 納入実績
    内訳半導体メーカおよび半導体装置メーカ、FPDメーカおよびFPD装置メーカ
    採用工程洗浄・拡散・成膜・薄厚・検査・他
  • KUMADE知的財産権証明書

  • KUMADE ストレスフリータイプ Stress Free (SF)
  • KUMADE サイドコンタクトタイプ Side Contact (SC)
  • KUMADE べベルコンタクトタイプ Bevel Contact (BC)
  • KUMADE 搬送システム