KUMADE搬送システム


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  • ↓ TAIKOウェーハ自動反転移載装置 小型卓上タイプ
  • ↓φ300対応ウェーハクリーナー (HWC-1200-1)
  • ↓ ウェーハ反転移載機5、6inch卓上型
  • ↓ ウェーハ梱包開封装置PAT.PEND. (ウェーハ移載機)
  • ↓ φ300mm極薄ウェーハ自動梱包機能付きウェーハソーター (HWS-12001)
  • ↓ φ300mm極薄ウェーハ自動移載装置(HWP-12002)
  • ↓ パワーデバイス用自動移載装置 (HWT-0608-22)
  • ↓ パワーデバイス用自動梱包・開封装置 (HWP-0608-11)
  • ↓ 顧客仕様移載装置例 (パワーデバイス対応)
  • ↓ 薄ウェーハ自動移載装置 (パワー半導体等に使用)
  • ↓ 薄ウェーハ自動反転装置 小型卓上タイプ (パワーデバイス対応)
  • ↓ ウェーハローダー
  • ↓ 簡易移載機
  • ↓ ウェーハ分割/合成移載機 (倍ピッチカセット移載機)
  • ↓ 新時代デバイスに対応したKUMADE及び搬送システムの提案

TAIKOウェーハ自動反転移載装置 小型卓上タイプ

本装置はカセット内に収納されているTAIKOウェーハを移載・反転する装置です。
カセット内に収納されたTAIKOウェーハに対し、KUMADEによってウェーハ表面または裏面へアクセスし移載または反転して収納を行う装置です。
KUMADE BCタイプを使用しウェーハ表面または裏面に対し、非接触にて搬送する事が可能となります。更にはベベル部以外の研削された薄残し部へのストレスはKUMADEの特徴によって従来の1/360に低減されています。これによりTAIKOウェーハを安心・安全に移し替えすることが可能となっています。

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φ300対応ウェーハクリーナー(HWC-1200-1)

本装置は、FOUP/FOSBに収納されているウェーハの表面に付着したパーティクルを、超音波エアーによって除去する「φ300ウェーハ用ドライクリーニング装置です。
「ウェーハ取り出し機構・アライナーユニット・クリーニングユニット」を一体化する事で、φ300対応機でありながら、幅550×奥行き1400×高さ1750と大幅に省スペース化を実現しました。
また、装置内では最小のウェーハ移動量で全作業をおこなう為、優れた処理能力を発揮します。

基本構成

  • ・ウェーハアライナー一体型ワーク搬送ロボット×1
  • ・超音波Airクリーニングユニット×1
  • ・アライナー機能(ノッチ方向任意設定機能付き)×1
  • ・ロードポート×1機(ウェーハマッピング機能付き)
  • ・FFU及びイオナイザー搭載

主要部の説明

小型化され効率良くクリーニングするウェーハクリーニングユニット

ウェーハ取り出しロボット、センタリング機構、アライナー機構、クリーニングユニットなどを、全てを一体化したウェーハ処理ユニットはロードポートの直後に配置されており、FOUP/FOSBに収納されている全てのウェーハを最短の移動距離で効率良くクリーニングする事が可能です。

ウェーハ表面パーティクル除去率80%以上

超音波エアーによりパーティクルを振動励起させることで除塵効果を高めます。
またブローされたCD同ユニットで回収する為、除去後のパーティクルを工程にまき散らす事はありません。

異物付着状態のウェーハを処理した際の検査結果

sbt1sbt2sbt3
Wfクリーナ処理前汚れ13612070
Wfクリーナ処理後汚れ10144
異物除去数12610666
除去率(%)92.6588.3394.29

※上記のクリーニング性能データは、標準的な半導体デバイスを使用して、弊社で実施した参考データです。
(性能を保証するものではありません。)


FOUPアクセスの様子


ウェーハ処理機構部

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ウェーハ反転移載機5、6inch卓上型

型式:HWF-56
適応品種:5、6 inch
着工数:25枚 (1カセット)
対応カセット:標準型キャリアカセット (SEMI準拠)
2倍ピッチキャリアカセット (13段収納)
3倍ピッチキャリアカセット (8段収納)

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ウェーハ梱包開封装置PAT.PEND. (ウェーハ移載機)

  • ・バックグラインド後の薄厚ウェーハを積層梱包する装置
  • ・弊社「KUMADE」ハンドを搭載することにより、製品を安定して移し替える事も可能
  • ・様々な顧客仕様のケースに対応
  • ・COOを考慮した小型・高性能・イージーメンテナンス

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φ300mm極薄ウェーハ自動梱包機能付きウェーハソーター(HWS-12001)

本装置は、FOUP/FOSBに収納されたウェーハを、自動的に移し替え作業を行うための装置です。また、本装置はFOUP/FOSB間の移し替え機能と併せ、輸送用コインスタックケースへの自動梱包機能を搭載しています。

  • ・輸送されたウェーハを受け入れ、工程内で使用するFOUPへの移し替え作業や製品出荷時のFOSBへの移し替え作業や、輸送用コインスタックケースへの自動収納作業を、安全に効率良く実施することが可能です。
  • ・フルオートアライナーにはOCRユニットを搭載していますので、様々な移し替え作業でも履歴管理が行われ、安全に移載作業を行う事ができます。
  • ・装置:φ300ウェーハ用ソーター(自動梱包機能付き)
  • ・ロードポート×2機、接触式KUMADE-FORK付き、アライナーユニット付き
  • ・自動梱包ステージ×1、シートストック×1、フルオートアライナー、OCR機能付(特徴)ウェーハ搬送用アームに弊社独自のKUMADEハンドを使用することで、薄仕上げ加工を施したウェーハや、「反り・歪み」の発生したウェーハでも、吸着ミスを起こすことなく、安定した搬送が可能です。また、KUMADEの使用により、ウェーハに不要な局所ストレスを与えることなく、安全に移載作業が可能です。

主要ユニット

左:自動梱包ユニット
(梱包作業ステージ×1、シートストックエリア×1、シート搬送ロボット)
中央:接触式KUMADE-FORK付ウェーハ搬送ロボット(手前)、フルオートアライナー・OCRユニット(奥)
右:ロードポート×2機 (※薄仕上げウェーハ用特殊カセット対応:オプション)


  • 自動梱包部
    (装置背面)

  • 操作画面
    (通常画面)

  • 設定画面
    (ウェーハ移し替え)

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φ300mm極薄ウェーハ自動移載装置(HWP-12002)

本装置は、さまざまなキャリアカセットに収納されたウェーハを、安全に輸送用コインスタックケースに自動梱包するための装置です。

  • ・対象となるウェーハ:φ300ウェーハ(未研削~薄残し仕上げ)
  • ・対象となるカセット、ケース:《ケースロードポート》FOUP, FOSB, OPEN, グラインダー用薄残しカセット《梱包ステージ》プロトスケース(アキレス社製)
  • ・特徴:ウェーハ搬送用アームに弊社独自のKUMADEハンドを使用することで、薄残し仕上げを施した極薄ウェーハや、様々な作業によって「反り・歪み」の発生したウェーハでも、吸着ミスを起こすことなく安定して搬送が可能です。
    また、KUMADEを使用することで、ウェーハに不要な局所ストレスを与えることがなく、安全に移載作業が可能です。
    ※アライナー機能付き、ウェーハID読み取り機能付き。

装置概要

左:OPENカセット搭載例
中央:装置内部(奥:梱包ユニット、手前:搬送ロボット、右:アライナー)
右:搬送アーム(KUMADE)


  • 梱包ユニット
    (ウェーハスタックステージと
    シート搬送アーム)

  • 装置前面
    (操作パネル、自動開閉カバー)

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パワーデバイス用自動移載装置 (HWT-0608-22)

本装置は、薄加工され反り歪みの発生したウェーハを、様々なキャリアカセットの間で移し替えを行う「ウェーハ自動移載機」です。
異なる種類のキャリアカセット同士や、異なるピッチのキャリアカセット同士の間でウェーハの移し替え作業が可能です。
また、ウェーハの「分割・合成」や、指定された任意のスロットにウェーハを移し替えるといった作業にも対応いたします。
移し替え作業には、弊社独自のKUMADE-FORKを使用することで、反り歪みの生じた薄ウェーハでも矯正しながら安全に搬送します。

  • ・対象となるウェーハ:《サイズ》6インチ/8インチ
    《厚さ》未研削~50μm (詳細は別途ご相談)
  • ・基本仕様:《LDステージ》2 《ULステージ》2 簡易型アライナーユニット搭載、PLC制御
  • ・ウェーハ搬送ハンド:KUMADE-FORK(SF)(部分接触式)
  • ・アライナステージ:KUMADE-CIRCLE(SF)(部分接触式)

 ※その他の追加機能に付いては別途ご相談ください。

主要ユニット


  • KUMADE-CIRCLE(SF)型ステージを搭載した、反り歪み対応簡易型アライナーユニット。

  • 移し替え作業エリア全体(LD/UL:最大2インチ兼用、最大1サイズ5各種のキャリアカセットを兼用)

  • 薄・反り歪み対応型

  • 移載作業操作画面

  • 各種詳細設定変更画面
  • ※本装置では、通常キャリアカセットをはじめ、2倍ピッチカセット、3倍ピッチカセット、エッチング用カセット、アニール用カセット、インプラ用カセット等6種類のカセットに対応しております。
  • ※対応キャリアカセットは、必ず事前確認が必要となります。また一部のキャリアカセットに付きましては別途ご相談となります。

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パワーデバイス用自動梱包・開封装置 (HWP-0608-11)

本装置は、薄加工をおこなったウェーハを、安全に輸送用ケースへの収納/取り出しを行うための「ウェーハ自動梱包開封装置」です。
薄ウェーハの工場間輸送に生じる、キャリアカセット⇔輸送ケースの移し替え作業は、一見簡単な作業と思われがちですが、実はほぼ完成された製品を破損する可能性の高い危険な作業です。
ハーモテックのウェーハ自動梱包・開封装置は、弊社独自の搬送ツール「KUMADE」を搭載する事で、これらの作業を安全に対応いたします。

  • ・対象となるウェーハ:《サイズ》6インチ/8インチ
    《厚さ》未研削~50μm (詳細は別途ご相談)
  • ・基本仕様:《LDステージ》1 《ULステージ》1 《シートストッカー》1 簡易型アライナーユニット搭載、PLC制御
  • ・ウェーハ搬送ハンド:KUMADE-FORK(SF)(部分接触式)
  • ・アライナステージ:KUMADE-CIRCLE(SF)(部分接触式)

※その他の追加機能に付いては別途ご相談ください。

※オプション対応:フルオートアライナー、OCR対応、その他(別途ご相談)

主要ユニット


  • KUMADE-CIRCLE(SF)型ステージを搭載した、反り歪み対応簡易型アライナーユニット。

  • KUMADE-FORK(SF)を搭載した、薄ウェーハ搬送ロボット部(反転機構付)種のキャリアカセットを兼用)

  • 極薄・反り歪み対応型KUMADE-FORK(SFシリーズ)

  • 自動梱包部(装置背面)

  • 梱包作業部
    (プロトスキャリア搭載時)

  • 昇降式ステージ
    (プロトスキャリア対応型)

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顧客仕様移載装置例 (パワーデバイス対応)

  • ・対象となるウェーハ:5~12インチ
  • ・対象となるカセット:標準カセット、倍ピッチカセット、3倍ピッチカセット、
    金属カセット、その他特殊カセット
  • ・ローダーカセット数:1~4カセット
  • ・アンローダカセット数:1~6カセット
  • ・搬送アーム:KUMADE SFシリーズ
  • ・対応機能:ピッチ変換機能、ウェーハ反転機能、簡易アライメント機能、
    ID読み取り機能

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薄ウェーハ自動移載装置(パワー半導体等に使用)

本装置は、標準ピッチ(25枚収納)キャリアカセットから、2倍ピッチキャリアカセット(13枚収納)または3倍ピッチキャリアカセット(8枚収納)にウェーハを移し替えるための、自動移載装置です。

  • ・対象となるウェーハ:小径ウェーハ
  • ・対象となるカセット:《ロード》標準型キャリアカセット(SEMI準拠)
    《アンロード》2倍ピッチキャリアカセット(13段収納)
    3倍ピッチキャリアカセット(8段収納)
  • ・装置寸法/用力:幅850×奥行き500×高さ1600(パトライト含まず)
    重量:約100kg 電源:AC100V ドライエアーおよび真空

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薄ウェーハ自動反転装置 小型卓上タイプ(パワーデバイス対応)

本装置は、パワーデバイスなどの製造工程で、薄残しウェーハの裏面への様々な処理や検査を行う際、作業者がピンセット等で行っていた反転作業を安全かつ速やかに行うための装置です。

  • ・対象となるウェーハ:小径ウェーハ
  • ・対象となるカセット:準型キャリアカセット(SEMI準拠)
    2倍ピッチキャリアカセット(13段収納)
    3倍ピッチキャリアカセット(8段収納)
    ※その他のキャリアカセットについては別途ご相談させていただきます。
  • ・装置寸法/用力:幅450×奥行き630×高さ310(パトライト含まず)
    重量:約50Kg 電源:AC100V ドライエアー使用

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ウェーハローダー

ウェーハ処理工程でキャリアカセットから安全かつ迅速にウェーハを出し入れするための簡易型ウェーハローダーです。
ウェーハに様々な問題を起こす要因となりうる、ピンセットによるカセットからのウェーハの出し入れを無くします。自動取り出しモードでは、位置決めステージ上に取り出されたウェーハを取り上げると、ウェーハが移動した事を検知し速やかに次ウェーハを所定位置に取り出します。
また、自動収納モードでは作業者が位置決めステージ上にウェーハを置くと、そのウェーハを検知し速やかにキャリアカセットに安全に収納します。
手動取り出しモードには、任意のスロットに収納されたウェーハを抜き取る、指定スロットからのウェーハ取り出しも可能です。

  • ・対象製品:2~6インチ(未研削~400μ程)(※資料写真は6インチ用)
  • ・対象工程:成膜工程、アニール工程等
  • ・使用例:EP、アニール、etc.

※弊社の非接触型KUMADE-Holderと併せて使用することで、ウェーハトレーやサセプターに対する表裏面非接触でのハンドリングが可能となるためパーティクル付着対策として大変有効です。

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簡易移載機

キャリアカセットに収納された最大25枚内のウェーハを、1度に移し替えを行う一括移し替え装置です。ウェーハは25段の一括搬送アームにより全数同時に移し替えを行います。ウェーハの移し替え作業は、裏面吸着式アームによる安定した搬送を行うことで、ウェーハの外周部を「擦る」「引きずる」等の問題を解消します。

  • ・対象製品: Si、2~6インチ
    (未研削~400μ程)
    (※資料写真は6インチ用)
  • ・対象工程:前工程全般
  • ・使用例:成膜工程、洗浄工程、etc.

左右のカセットステージには高さ調整機構を設け、調整により異なる種類のカセット同士でも移し替が可能です。
操作はスタート/ストップのスイッチ1つで完了します。また、1Lot(25枚)の移し替え作業を2秒で完了します。

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ウェーハ分割/合成移載機(倍ピッチカセット移載機)

化合物ウェーハやMEMS製品等を対象とした、ウェーハ分割/合成作業を行うための治具です。通常25段カセットから倍ピッチカセットへの移し替えに使用されます。

  • ・対象製品:化合物ウェーハ、MEMS、2~6インチ(未研削品~400μ程度)(※資料写真は6インチ用)
  • ・対象工程:前工程全般
  • ・使用例:成膜工程、洗浄工程、etc
  • (1)ウェーハ「分割」治具
    キャリアカセットに収納された25枚内のウェーハから、偶数段もしくは奇数段だけを他のカセットに移し替える分割作業用移し替え治具です。
    2つのカセットを向い合せにセットし、移載レバーを軽く押すだけで確実な分割移し替え作業が可能です。

  • (2)ウェーハ「合成」治具
    奇数段/偶数段で2つのカセットに分割されたウェーハを一つのカセットにまとめる為のウェーハ合成治具です。
    2つのカセットを向い合せにセットし、移載レバーを軽く押すだけで確実な分割移し替え作業が可能です。
    なお、奇数段/偶数段の高さはレバー操作で簡単に変更が可能です。

(1)(2)共に、カセットを向い合せにセットし、高さ切り替えレバーを合わせた後移載レバーを軽く押すだけで、カセットの中のウェーハをスムーズにスライドさせ確実な移し替えを行うことができます。

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新時代デバイスに対応したKUMADE及び搬送システムの提案が可能

ウェーハへの表面側へ非接触にてKUMADEがアクセスできるためパワーデバイス(TAIKOウェーハ、SiCウェーハ、GaNウェーハ)やLEDデバイス(サファイヤ)のサセプターへの移し替えの自動化提案が可能です。


  • トレイアクセスイメージ

  • カセットアクセスイメージ

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  • KUMADE ストレスフリータイプ Stress Free (SF)
  • KUMADE サイドコンタクトタイプ Side Contact (SC)
  • KUMADE べベルコンタクトタイプ Bevel Contact (BC)
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