製品のサポート方法
| SCタイプ | ウェーハの外周をサポートする方法 Side Contact |
|---|
| BCタイプ | ウェーハのベベルをサポートする方法 Bevel Contact |
|---|
| SFタイプ | ウェーハの搬送面をサポートする方法 Stress Free |
|---|
| 品番 | 名称 |
|---|---|
| (1) | レギュレータ |
| (2) | 3ポートバルブ(N.C.) |
| (3) | 3ポートバルブ(N.C.) |
| (4) | クリーンフィルタ |
※禁油処理品の使用を推奨します
既存真空吸タイプからの変更も可能です
KUMADEの種類と特徴で選定
|
種類 ◎：最適 ○やや適 |
Fork | Circle | Holder | Cup | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SC | BC | SF | SC | BC | SF | |||
| ロボット対応 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | |
| カセットアクセス | ○ | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ | ◎ | |
| 極薄Wf対応 | ◎ | ◎ | ◎ | |||||
| 反りWf対応 | ○ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ | |||
| クリーン度重視 | ◎ | ○ | ◎ | ○ | ◎ | |||
| MEMS対応 | ○ | ○ | ◎ | ○ | ○ | ◎ | ○ | |
| 高温対応 | ○ | ◎ | ○ | ◎ | ○ | ◎ | ||
| 高速対応 | ◎ | ○ | ◎ | ○ | ◎ | |||
KUMADE型式表示方法
| SC | サイドコンタクト |
|---|---|
| BC | ベベルコンタクト |
| SF | エッジエクスクルージョンコンタクト |
| 08 | ウェーハサイズ 2"〜12" |
|---|
| F | Forkタイプ |
|---|---|
| C | Circleタイプ |
| 1A | ウェーハサイズ 2"〜4" |
|---|---|
| 6A | ウェーハサイズ 3"〜6" |
| 6B | ウェーハサイズ 6"〜8" |
| 8A | ウェーハサイズ 8"〜12" |
| H | Holderタイプ 標準品はSFタイプのみ |
|---|
| CW | 時計方向エアー吐出 |
|---|---|
| CCW | 反時計方向エアー吐出 |
| SF | クッション付き |
|---|---|
| 無記 | クッション無し |
| 40 | 軽量〜重量ワーク対応 |
|---|---|
| 60 | 重量ワーク対応 |
| 80 | 超重量ワーク対応 |
| CP | Cupタイプ |
|---|