• ロボット用エンドエフェクターとして使用可能
• ウェーハカセットへのアクセスが可能
• ウェーハへのパーティクル転写の解消
• ウェーハ表面へのローディングアクセスが可能
• 静電気帯及び剥離帯電の解消
• 搬送中にセンタリングを行い装置タクトタイムの低減

12インチ ウェーハ 搬送例

1分21秒[4.48MB]

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非接触反転

24秒[1.47MB]

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MEMS等の貫通穴あきウェーハ浮上搬送

1分32秒[5.42MB]

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