極薄ウェーハ搬送ハンド（低ストレス・接触型）の説明
【KMWF-08】
- 左の図のようにエアー噴出ノズルに発生する吸引力により、ハンドから離れた反り・歪み部分にも吸引力が作用し、ハンドに引き寄せて保持します。ハンドに引き寄せる力と樹脂パッド（ゴム製）との摩擦力により、ウェーハの横方向への動きを止めます。このため外周ガイドが不要となりますが、ハンドを反転しても問題なくウェーハを保持します。
- 単位面積あたりの吸着力がポーラスチャックと比べ約1/350と低い為、極薄ウェーハが受けるストレスは低く、ワレなどの問題を発生させません。
先端ウェーハ有無検出センサー付き
ハンド先端に透過型ファイバセンサーを組み込み、カセット内ウェーハの有無を検出できるようにしました。
高速搬送型ガイドレスタイプ
約400℃程度の高温ウェーハを吐出エアーにて冷却しながら搬送します。
これによりウェーハの冷却時間を短縮できタクトタイムの向上に貢献しました。
MEMSウェーハ対応
MEMSの搬送に数多く使用されております。
様々な材質への対応
【KMWC-08 PET材】
耐薬品用としてウェットエッチング装置に搭載されております。
【KMWF-08 セラミック材】
ハンド全高への制約と高剛性化に対応いたしました。
【KMWF-12 石英材】
約1000℃の炉内に直接アクセスし、非接触にて搬送いたしました。