• 極薄ウェーハへのストレスフリー
• 極薄ウェーハ搬送時のワレ・クラック解消
• コインスタック式搬送ケースへの対応可能
• ウェーハへのパーティクル転写の解消
• ウェーハ表面へのローディングアクセスが可能
• 静電気帯及び剥離帯電の解消
• 搬送中にセンタリングを行い装置タクトタイムの低減

12インチ 50μm厚 配線無 保護シート無

1分27秒[4.78MB]

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8インチ　配線済み　35μm厚　保護シート180μm

2分4秒[6.78MB]

使用メリット：吸着搬送時の異物挟み込みによるワレ・クラックの解消

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