
ウェーハ梱包開封装置PAT.PEND. (ウェーハ移載機)
- バックグラインド後の薄厚ウェーハを積層梱包する装置
- 当社「KUMADE」ハンドを搭載することにより、製品を安定して移し替える事も可能
- 様々な顧客仕様のケースに対応
- COOを考慮した小型・高性能・イージーメンテナンス
φ300mm極薄ウェーハ自動梱包機能付きウェーハソーター(HWS-12001)
本装置は、FOUP/FOSBに収納されたウェーハを、自動的に移し替え作業をおこなうための装置です。また、本装置はFOUP/FOSB間の移し替え機能と併せ、輸送用コインスタックケースへの自動梱包機能を搭載しております。
- 輸送されたウェーハを受け入れ、工程内で使用するFOUPへの移し替え作業や製品出荷時のFOSBへの移し替え作業や、輸送用コインスタックケースへの自動収納作業を、安全に効率良く実施することが可能です。
- フルオートアライナーにはOCRユニットを搭載しておりますので、様々な移し替え作業でも履歴管理がおこなわれ、安全に移載作業をおこなう事が出来ます。
- 装置:φ300ウェーハ用ソーター(自動梱包機能付き)
- ロードポート×2機、接触式KUMADE-FORK付き、アライナーユニット付き
- 自動梱包ステージ×1、シートストック×1、フルオートアライナー、OCR機能付(特徴)ウェーハ搬送用アームに弊社独自のKUMADEハンドを使用することで、薄仕上げ加工を施したウェーハや、「反り・歪み」の発生したウェーハでも、吸着ミスを起こす事無く、安定した搬送が可能です。また、KUMADEの使用により、ウェーハに不要な局所ストレスを与える事無く、安全に移載作業が可能です。
主要ユニット



写真中 : 接触式KUMADE-FORK付ウェーハ搬送ロボット(手前)、フルオートアライナ・OCRユニット(奥)
写真左 : 自動梱包ユニット(梱包作業ステージ×1、シートストックエリア×1、シート搬送ロボット)
写真右 : ロードポート×2機 (※薄仕上げウェーハ用特殊カセット対応:オプション)

自動梱包部(装置背面)

操作画面(通常画面)

設定画面(ウェーハ移し替え)
φ300mm極薄ウェーハ自動移載装置(HWP-12002)
本装置は、さまざまなキャリアカセットに収納されたウェーハを、安全に輸送用コインスタックケースに自動梱包するための装置です。
薄ウェーハ自動移載装置 (パワー 半導体等に使用)
本装置は、標準ピッチ(25枚収納)キャリアカセットから、2倍ピッチキャリアカセット(13枚収納)または3倍ピッチキャリアカセット(8枚収納)にウェーハを移し替えるための、自動移載装置です。
- 対象となるウェーハ
小径ウェーハ
-
対象となるカセット
- 【ロード】
- 標準型キャリアカセット(SEMI準拠)
- 【アンロード】
- 2倍ピッチキャリアカセット(13段収納)
- 3倍ピッチキャリアカセット(8段収納)
- 装置寸法/用力
幅850×奥行き500×高さ1600(パトライト含まず)
重量:約100Kg
電源:AC100V ドライエアーおよび真空
薄ウェーハ自動反転装置 小型卓上タイプ
本装置は、パワーデバイスなどの製造工程で、薄残しウェーハの裏面への様々な処理や検査を行う際、作業者がピンセット等でおこなっていた、反転作業を安全かつ速やかにおこなう為の装置です。
- 対象となるウェーハ
小径ウェーハ
- 対象となるカセット
準型キャリアカセット(SEMI準拠)
2倍ピッチキャリアカセット(13段収納)
3倍ピッチキャリアカセット(8段収納)
※その他のキャリアカセットについては別途ご相談させて頂きます。
- 装置寸法/用力
幅450×奥行き630×高さ310(パトライト含まず)
重量:約50Kg
電源:AC100V ドライエアー使用