製品情報

KUMADE 搬送システム

ウェーハ梱包開封装置PAT.PEND. (ウェーハ移載機)

  • バックグラインド後の薄厚ウェーハを積層梱包する装置
  • 当社「KUMADE」ハンドを搭載することにより、製品を安定して移し替える事も可能
  • 様々な顧客仕様のケースに対応
  • COOを考慮した小型・高性能・イージーメンテナンス

φ300mm極薄ウェーハ自動梱包機能付きウェーハソーター（HWS-12001)

本装置は､FOUP／FOSBに収納されたウェーハを、自動的に移し替え作業をおこなうための装置です。また、本装置はFOUP／FOSB間の移し替え機能と併せ、輸送用コインスタックケースへの自動梱包機能を搭載しております。

  • 輸送されたウェーハを受け入れ、工程内で使用するFOUPへの移し替え作業や製品出荷時のFOSBへの移し替え作業や、輸送用コインスタックケースへの自動収納作業を、安全に効率良く実施することが可能です。
  • フルオートアライナーにはOCRユニットを搭載しておりますので、様々な移し替え作業でも履歴管理がおこなわれ、安全に移載作業をおこなう事が出来ます。
  • 装置：φ300ウェーハ用ソーター（自動梱包機能付き）
  • ロードポート×2機、接触式KUMADE-FORK付き、アライナーユニット付き
  • 自動梱包ステージ×1、シートストック×1、フルオートアライナー、OCR機能付（特徴）ウェーハ搬送用アームに弊社独自のKUMADEハンドを使用することで、薄仕上げ加工を施したウェーハや、「反り・歪み」の発生したウェーハでも、吸着ミスを起こす事無く、安定した搬送が可能です。また、KUMADEの使用により、ウェーハに不要な局所ストレスを与える事無く、安全に移載作業が可能です。

主要ユニット

写真中 ： 接触式KUMADE-FORK付ウェーハ搬送ロボット（手前）、フルオートアライナ・OCRユニット(奥)

写真左 ： 自動梱包ユニット（梱包作業ステージ×1、シートストックエリア×1、シート搬送ロボット）

写真右 ： ロードポート×2機　（※薄仕上げウェーハ用特殊カセット対応：オプション）


  • 自動梱包部（装置背面）

  • 操作画面（通常画面）

  • 設定画面（ウェーハ移し替え）

φ300mm極薄ウェーハ自動移載装置(HWP-12002)

本装置は、さまざまなキャリアカセットに収納されたウェーハを、安全に輸送用コインスタックケースに自動梱包するための装置です。

  • 対象となるウェーハ
    φ300ウェーハ(未研削〜薄残し仕上げ)
  • 対象となるカセット、ケース
    【ケースロードポート】
    FOUP, FOSB, OPEN, グラインダー用薄残しカセット
    【梱包ステージ】
    プロトスケース(アキレス社製)
  • 特徴
    ウェーハ搬送用アームに弊社独自のKUMADEハンドを使用することで、薄残し仕上げを施した極薄ウェーハや、様々な作業によって「反り・歪み」の発生したウェーハでも、吸着ミスを起こす事無く安定して搬送が可能です。
    また、KUMADEを使用することで、ウェーハに不要な局所ストレスを与える事が無く、安全に移載作業が可能です。
    ※アライナー機能付き、ウェーハID読み取り機能付き。

装置概要


  • OPENカセット搭載例

  • 装置内部
    (奥：梱包ユニット、手前：搬送ロボット、
    右：アライナー)

  • 搬送アーム(KUMADE)

  • 梱包ユニット
    (ウェーハスタックステージとシート搬送アーム)

  • 装置前面(操作パネル、自動開閉カバー）

薄ウェーハ自動移載装置 （パワー 半導体等に使用）

本装置は、標準ピッチ(25枚収納)キャリアカセットから、2倍ピッチキャリアカセット(13枚収納)または3倍ピッチキャリアカセット(8枚収納)にウェーハを移し替えるための、自動移載装置です。

  • 対象となるウェーハ
    小径ウェーハ
  • 対象となるカセット
    【ロード】
    標準型キャリアカセット(SEMI準拠)
    【アンロード】
    2倍ピッチキャリアカセット(13段収納)
    3倍ピッチキャリアカセット(8段収納)
  • 装置寸法／用力
    幅850×奥行き500×高さ1600(パトライト含まず)　
    重量：約100Kg
    電源：AC100V　ドライエアーおよび真空

  • 正面

  • ロード

  • アンロード

薄ウェーハ自動反転装置　小型卓上タイプ

本装置は、パワーデバイスなどの製造工程で、薄残しウェーハの裏面への様々な処理や検査を行う際、作業者がピンセット等でおこなっていた、反転作業を安全かつ速やかにおこなう為の装置です。

  • 対象となるウェーハ
    小径ウェーハ
  • 対象となるカセット
    準型キャリアカセット(SEMI準拠)
    2倍ピッチキャリアカセット(13段収納)
    3倍ピッチキャリアカセット(8段収納)
    ※その他のキャリアカセットについては別途ご相談させて頂きます。
  • 装置寸法／用力
    幅450×奥行き630×高さ310(パトライト含まず)
    重量：約50Kg
    電源：AC100V　ドライエアー使用