

本装置は、FOUP/FOSBに収納されているウェーハの表面に付着したパーティクルを、超音波エアーによって除去する「φ300ウェーハ用ドライクリーニング装置です。
「ウェーハ取り出し機構・アライナーユニット・クリーニングユニット」を一体化する事で、φ300対応機でありながら、幅550×奥行き1400×高さ1750と大幅に省スペース化を実現しました。
また、装置内では最小のウェーハ移動量で全作業をおこなう為、優れた処理能力を発揮いたします。
【基本構成】
主要部の説明


◆小型化され効率良くクリーニングするウェーハクリーニングユニット
ウェーハ取り出しロボット、センタリング機構、アライナー機構、クリーニングユニットなどを、全てを一体化したウェーハ処理ユニットはロードポートの直後に配置されており、FOUP/FOSBに収納されている全てのウェーハを最短の移動距離で効率良くクリーニングする事が可能です。
◆ウェーハ表面パーティクル除去率80%以上
超音波エアーによりパーティクルを振動励起させることで除塵効果を高めます。
またブローされたCD同ユニットで回収する為、除去後のパーティクルを工程にまき散らす事はありません。

本装置は、FOUP/FOSBに収納されたウェーハを、自動的に移し替え作業をおこなうための装置です。また、本装置はFOUP/FOSB間の移し替え機能と併せ、輸送用コインスタックケースへの自動梱包機能を搭載しております。
主要ユニット



写真中 : 接触式KUMADE-FORK付ウェーハ搬送ロボット(手前)、フルオートアライナ・OCRユニット(奥)
写真左 : 自動梱包ユニット(梱包作業ステージ×1、シートストックエリア×1、シート搬送ロボット)
写真右 : ロードポート×2機 (※薄仕上げウェーハ用特殊カセット対応:オプション)



本装置は、さまざまなキャリアカセットに収納されたウェーハを、安全に輸送用コインスタックケースに自動梱包するための装置です。
装置概要





本装置では、通常キャリアカセットをはじめ、2倍ピッチカセット、3倍ピッチカセット、エッチング用カセット、アニール用カセット、インプラ用カセット等6種類のカセットに対応しております。
主要ユニット


※対応キャリアカセットは、必ず事前確認が必要となります。
また一部のキャリアカセットに付きましては別途ご相談)



主要ユニット










本装置は、標準ピッチ(25枚収納)キャリアカセットから、2倍ピッチキャリアカセット(13枚収納)または3倍ピッチキャリアカセット(8枚収納)にウェーハを移し替えるための、自動移載装置です。



1分15秒[5.2MB]
※上の再生ボタンを押すと動画が見れます。
本装置は、パワーデバイスなどの製造工程で、薄残しウェーハの裏面への様々な処理や検査を行う際、作業者がピンセット等でおこなっていた、反転作業を安全かつ速やかにおこなう為の装置です。




ウェーハ処理工程でキャリアカセットから安全かつ迅速にウェーハを出し入れする為の簡易型ウェーハローダーです。
ウェーハに様々な問題を起こす要因となりうる、ピンセットによるカセットからのウェーハの出し入れを無くします。
自動取り出しモードでは、位置決めステージ上に取り出されたウェーハを取り上げると、ウェーハが移動した事を検知し速やかに次ウェーハを所定位置に取り出します。
また、自動収納モードでは作業者が位置決めステージ上にウェーハを置くと、そのウェーハを検知し速やかにキャリアカセットに安全に収納します。
手動取り出しモードには、任意のスロットに収納されたウェーハを抜き取る、指定スロットからのウェーハ取り出しも可能です。
※弊社の非接触型KUMADE−Holderと併せて使用する事で、ウェーハトレーやサセプターに対する表裏面非接触でのハンドリングが可能となるためパーティクル付着対策として大変有効です。


キャリアカセットに収納された最大25枚内のウェーハを、1度に移し替えをおこなう一括移し替え装置です。
ウェーハは25段の一括搬送アームにより全数同時に移し替えを行います。
ウェーハの移し替え作業は裏面吸着式アームによる安定した搬送をおこなうことで、ウェーハの外周部を「擦る」「引きずる」等の問題を解消します。
左右のカセットステージには高さ調整機構を設け、調整により異なる種類のカセット同士でも移し替が可能です。
操作はスタート/ストップのスイッチ1つで完了します。また、1Lot(25枚)の移し替え作業を2秒で完了します。


化合物ウェーハやMEMS製品等を対象とした、ウェーハ分割/合成作業を行う為の治具です。
通常25段カセットから倍ピッチカセットへの移し替えに使用されます。
(1)ウェーハ「分割」治具
キャリアカセットに収納された25枚内のウェーハから、偶数段もしくは奇数段だけを他のカセットに移しかえる分割作業用移し替え治具です。
2つのカセットを向い合せにセットし、移載レバーを軽く押すだけで確実な分割移し替え作業が可能です。
(2)ウェーハ「合成」治具
奇数段/偶数段で2つのカセットに分割されたウェーハを一つのカセットにまとめる為のウェーハ合成治具です。
2つのカセットを向い合せにセットし、移載レバーを軽く押すだけで確実な分割移し替え作業が可能です。
なお、奇数段/偶数段の高さはレバー操作で簡単に変更が可能です。
(1)(2)共に、カセットを向い合せにセットし、高さ切り替えレバーを合わせた後移載レバーを軽く押すだけで、カセットの中のウェーハをスムーズにスライドさせ確実な移し替えをおこなう事が出来ます。