φ300対応 ウェーハクリーナー(HWC-1200-1)
本装置は､FOUP/FOSBに収納されているウェーハの表面に付着したパーティクルを、超音波エアーによって除去する「φ300ウェーハ用ドライクリーニング装置です。
「ウェーハ取り出し機構・アライナーユニット・クリーニングユニット」を一体化する事で、φ300対応機でありながら、幅550×奥行き1400×高さ1750と大幅に省スペース化を実現しました。
また、装置内では最小のウェーハ移動量で全作業をおこなう為、優れた処理能力を発揮いたします。
【基本構成】
- ウェーハアライナー一体型ワーク搬送ロボット×1
- 超音波Airクリーニングユニット×1
- アライナー機能(ノッチ方向任意設定機能付き)×1
- ロードポート×1機(ウェーハマッピング機能付き)
- FFU及びイオナイザー搭載
主要部の説明
a.FOUPアクセスの様子
b.ウェーハ処理機構部
◆小型化され効率良くクリーニングするウェーハクリーニングユニット
ウェーハ取り出しロボット、センタリング機構、アライナー機構、クリーニングユニットなどを、全てを一体化したウェーハ処理ユニットはロードポートの直後に配置されており、FOUP/FOSBに収納されている全てのウェーハを最短の移動距離で効率良くクリーニングする事が可能です。
◆ウェーハ表面パーティクル除去率80%以上
超音波エアーによりパーティクルを振動励起させることで除塵効果を高めます。
またブローされたCD同ユニットで回収する為、除去後のパーティクルを工程にまき散らす事はありません。
ウェーハ梱包開封装置PAT.PEND. (ウェーハ移載機)
- バックグラインド後の薄厚ウェーハを積層梱包する装置
- 当社「KUMADE」ハンドを搭載することにより、製品を安定して移し替える事も可能
- 様々な顧客仕様のケースに対応
- COOを考慮した小型・高性能・イージーメンテナンス
φ300mm極薄ウェーハ自動梱包機能付きウェーハソーター（HWS-12001)
本装置は､FOUP／FOSBに収納されたウェーハを、自動的に移し替え作業をおこなうための装置です。また、本装置はFOUP／FOSB間の移し替え機能と併せ、輸送用コインスタックケースへの自動梱包機能を搭載しております。
- 輸送されたウェーハを受け入れ、工程内で使用するFOUPへの移し替え作業や製品出荷時のFOSBへの移し替え作業や、輸送用コインスタックケースへの自動収納作業を、安全に効率良く実施することが可能です。
- フルオートアライナーにはOCRユニットを搭載しておりますので、様々な移し替え作業でも履歴管理がおこなわれ、安全に移載作業をおこなう事が出来ます。
- 装置：φ300ウェーハ用ソーター（自動梱包機能付き）
- ロードポート×2機、接触式KUMADE-FORK付き、アライナーユニット付き
- 自動梱包ステージ×1、シートストック×1、フルオートアライナー、OCR機能付（特徴）ウェーハ搬送用アームに弊社独自のKUMADEハンドを使用することで、薄仕上げ加工を施したウェーハや、「反り・歪み」の発生したウェーハでも、吸着ミスを起こす事無く、安定した搬送が可能です。また、KUMADEの使用により、ウェーハに不要な局所ストレスを与える事無く、安全に移載作業が可能です。
主要ユニット
写真中 ： 接触式KUMADE-FORK付ウェーハ搬送ロボット（手前）、フルオートアライナ・OCRユニット(奥)
写真左 ： 自動梱包ユニット（梱包作業ステージ×1、シートストックエリア×1、シート搬送ロボット）
写真右 ： ロードポート×2機 （※薄仕上げウェーハ用特殊カセット対応：オプション）
自動梱包部（装置背面）
操作画面（通常画面）
設定画面（ウェーハ移し替え）
φ300mm極薄ウェーハ自動移載装置(HWP-12002)
本装置は、さまざまなキャリアカセットに収納されたウェーハを、安全に輸送用コインスタックケースに自動梱包するための装置です。
- 対象となるウェーハ
φ300ウェーハ(未研削〜薄残し仕上げ) - 対象となるカセット、ケース
- 【ケースロードポート】
- FOUP, FOSB, OPEN, グラインダー用薄残しカセット
- 【梱包ステージ】
- プロトスケース(アキレス社製)
- 特徴
ウェーハ搬送用アームに弊社独自のKUMADEハンドを使用することで、薄残し仕上げを施した極薄ウェーハや、様々な作業によって「反り・歪み」の発生したウェーハでも、吸着ミスを起こす事無く安定して搬送が可能です。
また、KUMADEを使用することで、ウェーハに不要な局所ストレスを与える事が無く、安全に移載作業が可能です。
※アライナー機能付き、ウェーハID読み取り機能付き。
装置概要
OPENカセット搭載例
装置内部
(奥：梱包ユニット、手前：搬送ロボット、
右：アライナー)
搬送アーム(KUMADE)
梱包ユニット
(ウェーハスタックステージとシート搬送アーム)
装置前面(操作パネル、自動開閉カバー）
パワーデバイス用自動移載装置 (HWT-0608-22)
- 対象ウェーハサイズ
6インチ／8インチ - 対象ウェーハ厚さ
- 未研削 〜 50μm （詳細は別途ご相談）
- 特徴
本装置は、薄加工され反り歪みの発生したウェーハを、様々なキャリアカセットの間で移し替えをおこなう「ウェーハ自動移載機」です。
本装置は、異なる種類のキャリアカセット同士や、異なるピッチのキャリアカセット同士の間でウェーハの移し替え作業が可能です。
また、ウェーハの「分割・合成」や、指定された任意のスロットにウェーハを移し替えるといった作業にも対応いたします。
移し替え作業には、弊社独自のKUMADE-FORKを使用する事で、反り歪みの生じた薄ウェーハでも矯正しながら安全に搬送します。 - 基本仕様
LDステージ : 2、 ULステージ : 2、簡易型アライナーユニット搭載
PLC制御
ウェーハ搬送ハンド : KUMADE-FORK(SF)(部分接触式)
アライナステージ : KUMADE-CIRCLE(SF)(部分接触式)
※その他の追加機能に付いては別途ご相談
本装置では、通常キャリアカセットをはじめ、2倍ピッチカセット、3倍ピッチカセット、エッチング用カセット、アニール用カセット、インプラ用カセット等6種類のカセットに対応しております。
主要ユニット
KUMADE-CIRCLE(SF)型ステージを搭載した反り歪み対応簡易型アライナーユニット。
移し替え作業エリア全体(LD/UL:最大2インチ兼用、最大1サイズ5各種のキャリアカセットを兼用)
※対応キャリアカセットは、必ず事前確認が必要となります。
また一部のキャリアカセットに付きましては別途ご相談）
極薄・反り歪み対応型
移載作業操作画面
各種詳細設定変更画面
パワーデバイス用自動梱包・開封装置 (HWP-0608-11)
- 対象ウェーハサイズ
6インチ／8インチ - 対象ウェーハ厚さ
- 未研削 〜 50μm(詳細は別途ご相談)
- 特徴
本装置は、薄加工をおこなったウェーハを、安全に輸送用ケースへの収納/取り出しをおこなうための「ウェーハ自動梱包開封装置」です。
薄ウェーハの工場間輸送に生じる、キャリアカセット ⇔ 輸送ケースの移し替え作業は、一見簡単な作業と思われがちですが、実はほぼ完成された製品を破損する可能性の高い危険な作業です。
ハーモテックのウェーハ自動梱包・開封装置は、弊社独自の搬送ツール「KUMADE」を搭載する事で、これらの作業を安全に対応いたします。 - 基本仕様
LDステージ ： 1、 ULステージ ： 1、シートストッカー ： 1
簡易型アライナーユニット搭載、PLC制御
ウェーハ搬送ハンド ： KUMADE-FORK(SF)(部分接触式)
アライナステージ ： KUMADE-CIRCLE(SF)(部分接触式)
※オプション対応
フルオート アライナー、OCR対応、その他。※別途ご相談
主要ユニット
KUMADE-CIRCLE(SF)型ステージを搭載した反り歪み対応簡易型アライナーユニット。
KUMADE-FORK(SF)を搭載した薄ウェーハ搬送ロボット部(反転機構付)
極薄・反り歪み対応型KUMADE-FORK(SFシリーズ)
自動梱包部（装置背面）
梱包作業部（プロトスキャリア搭載時）
昇降式ステージ(プロトスキャリア対応型)
顧客仕様移載装置例 （パワーデバイス対応）
- 対象ウェーハ：5〜12インチ
- 対象カセット：標準カセット、倍ピッチカセット、３倍ピッチカセット、金属カセット、その他特殊カセット
- ローダーカセット数：1〜4カセット
- アンローダカセット数：1〜6カセット
- 搬送アーム：KUMADE SFシリーズ
- 対応機能
ピッチ変換機能
ウェーハ反転機能
簡易アライメント機能
ID読み取り機能
薄ウェーハ自動移載装置 （パワー 半導体等に使用）
本装置は、標準ピッチ(25枚収納)キャリアカセットから、2倍ピッチキャリアカセット(13枚収納)または3倍ピッチキャリアカセット(8枚収納)にウェーハを移し替えるための、自動移載装置です。
- 対象となるウェーハ
小径ウェーハ - 対象となるカセット
- 【ロード】
- 標準型キャリアカセット(SEMI準拠)
- 【アンロード】
- 2倍ピッチキャリアカセット(13段収納)
- 3倍ピッチキャリアカセット(8段収納)
- 装置寸法／用力
幅850×奥行き500×高さ1600(パトライト含まず)
重量：約100Kg
電源：AC100V ドライエアーおよび真空
正面
ロード
アンロード
1分15秒[5.2MB]
※上の再生ボタンを押すと動画が見れます。
薄ウェーハ自動反転装置 小型卓上タイプ （パワーデバイス対応）
本装置は、パワーデバイスなどの製造工程で、薄残しウェーハの裏面への様々な処理や検査を行う際、作業者がピンセット等でおこなっていた、反転作業を安全かつ速やかにおこなう為の装置です。
- 対象となるウェーハ
小径ウェーハ - 対象となるカセット
準型キャリアカセット(SEMI準拠)
2倍ピッチキャリアカセット(13段収納)
3倍ピッチキャリアカセット(8段収納)
※その他のキャリアカセットについては別途ご相談させて頂きます。 - 装置寸法／用力
幅450×奥行き630×高さ310(パトライト含まず)
重量：約50Kg
電源：AC100V ドライエアー使用