本装置は､FOUP／FOSBに収納されたウェーハを、自動的に移し替え作業をおこなうための装置です。また、本装置はFOUP／FOSB間の移し替え機能と併せ、輸送用コインスタックケースへの自動梱包機能を搭載しております。

• 輸送されたウェーハを受け入れ、工程内で使用するFOUPへの移し替え作業や製品出荷時のFOSBへの移し替え作業や、輸送用コインスタックケースへの自動収納作業を、安全に効率良く実施することが可能です。
• フルオートアライナーにはOCRユニットを搭載しておりますので、様々な移し替え作業でも履歴管理がおこなわれ、安全に移載作業をおこなう事が出来ます。
• 装置：φ300ウェーハ用ソーター（自動梱包機能付き）
• ロードポート×2機、接触式KUMADE-FORK付き、アライナーユニット付き
• 自動梱包ステージ×1、シートストック×1、フルオートアライナー、OCR機能付（特徴）ウェーハ搬送用アームに弊社独自のKUMADEハンドを使用することで、薄仕上げ加工を施したウェーハや、「反り・歪み」の発生したウェーハでも、吸着ミスを起こす事無く、安定した搬送が可能です。また、KUMADEの使用により、ウェーハに不要な局所ストレスを与える事無く、安全に移載作業が可能です。

主要ユニット

写真中 ： 接触式KUMADE-FORK付ウェーハ搬送ロボット（手前）、フルオートアライナ・OCRユニット(奥)

写真左 ： 自動梱包ユニット（梱包作業ステージ×1、シートストックエリア×1、シート搬送ロボット）

写真右 ： ロードポート×2機　（※薄仕上げウェーハ用特殊カセット対応：オプション）

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  自動梱包部（装置背面）
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  操作画面（通常画面）
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  設定画面（ウェーハ移し替え）

本装置は、さまざまなキャリアカセットに収納されたウェーハを、安全に輸送用コインスタックケースに自動梱包するための装置です。

• 対象となるウェーハ
  φ300ウェーハ(未研削〜薄残し仕上げ)
• 対象となるカセット、ケース

  【ケースロードポート】

  FOUP, FOSB, OPEN, グラインダー用薄残しカセット

  【梱包ステージ】

  プロトスケース(アキレス社製)

• 特徴
  ウェーハ搬送用アームに弊社独自のKUMADEハンドを使用することで、薄残し仕上げを施した極薄ウェーハや、様々な作業によって「反り・歪み」の発生したウェーハでも、吸着ミスを起こす事無く安定して搬送が可能です。
  また、KUMADEを使用することで、ウェーハに不要な局所ストレスを与える事が無く、安全に移載作業が可能です。
  ※アライナー機能付き、ウェーハID読み取り機能付き。

装置概要

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  OPENカセット搭載例
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  装置内部
  (奥：梱包ユニット、手前：搬送ロボット、
  右：アライナー)
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  搬送アーム(KUMADE)

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  梱包ユニット
  (ウェーハスタックステージとシート搬送アーム)
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  装置前面(操作パネル、自動開閉カバー）

• 対象ウェーハ：5〜12インチ
• 対象カセット：標準カセット、倍ピッチカセット、３倍ピッチカセット、金属カセット、その他特殊カセット
• ローダーカセット数：1〜4カセット
• アンローダカセット数：1〜6カセット
• 搬送アーム：KUMADE SFシリーズ
• 対応機能
  ピッチ変換機能
  ウェーハ反転機能
  簡易アライメント機能
  ID読み取り機能

本装置は、標準ピッチ(25枚収納)キャリアカセットから、2倍ピッチキャリアカセット(13枚収納)または3倍ピッチキャリアカセット(8枚収納)にウェーハを移し替えるための、自動移載装置です。

• 対象となるウェーハ
  小径ウェーハ
• 対象となるカセット

  【ロード】

  標準型キャリアカセット(SEMI準拠)

  【アンロード】

  2倍ピッチキャリアカセット(13段収納)

  3倍ピッチキャリアカセット(8段収納)

• 装置寸法／用力
  幅850×奥行き500×高さ1600(パトライト含まず)　
  重量：約100Kg
  電源：AC100V　ドライエアーおよび真空

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  正面
• 
  ロード
• 
  アンロード

1分15秒[5.2MB]

※上の再生ボタンを押すと動画が見れます。

本装置は、パワーデバイスなどの製造工程で、薄残しウェーハの裏面への様々な処理や検査を行う際、作業者がピンセット等でおこなっていた、反転作業を安全かつ速やかにおこなう為の装置です。

• 対象となるウェーハ
  小径ウェーハ
• 対象となるカセット
  準型キャリアカセット(SEMI準拠)
  2倍ピッチキャリアカセット(13段収納)
  3倍ピッチキャリアカセット(8段収納)
  ※その他のキャリアカセットについては別途ご相談させて頂きます。
• 装置寸法／用力
  幅450×奥行き630×高さ310(パトライト含まず)
  重量：約50Kg
  電源：AC100V　ドライエアー使用

• 対象製品 ： 2〜6インチ（未研削〜400μ程） ／ 資料写真は6インチ用
• 対象工程 ： 成膜工程、アニール工程等
• 使用例 ： EP、アニールetc

ウェーハ処理工程でキャリアカセットから安全かつ迅速にウェーハを出し入れする為の簡易型ウェーハローダーです。

ウェーハに様々な問題を起こす要因となりうる、ピンセットによるカセットからのウェーハの出し入れを無くします。
自動取り出しモードでは、位置決めステージ上に取り出されたウェーハを取り上げると、ウェーハが移動した事を検知し速やかに次ウェーハを所定位置に取り出します。

また、自動収納モードでは作業者が位置決めステージ上にウェーハを置くと、そのウェーハを検知し速やかにキャリアカセットに安全に収納します。

手動取り出しモードには、任意のスロットに収納されたウェーハを抜き取る、指定スロットからのウェーハ取り出しも可能です。

※弊社の非接触型KUMADE−Holderと併せて使用する事で、ウェーハトレーやサセプターに対する表裏面非接触でのハンドリングが可能となるためパーティクル付着対策として大変有効です。

• 対象製品 ： Si、2〜6インチ（未研削〜400μ程） ／ 資料写真は6インチ用
• 対象工程 ： 前工程全般
• 使用例 ： 成膜工程、洗浄工程etc

キャリアカセットに収納された最大25枚内のウェーハを、1度に移し替えをおこなう一括移し替え装置です。
ウェーハは25段の一括搬送アームにより全数同時に移し替えを行います。

ウェーハの移し替え作業は裏面吸着式アームによる安定した搬送をおこなうことで、ウェーハの外周部を「擦る」「引きずる」等の問題を解消します。

左右のカセットステージには高さ調整機構を設け、調整により異なる種類のカセット同士でも移し替が可能です。

操作はスタート／ストップのスイッチ1つで完了します。また、1Lot（25枚）の移し替え作業を2秒で完了します。

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  (1)ウェーハ「分割」治具
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  (2)ウェーハ「合成」治具

• 対象製品 ： 化合物ウェーハ、MEMS、2〜6インチ（未研削品〜400μ程度）
  資料写真は6インチ用
• 対象工程 ： 前工程全般
• 使用例 ： 成膜工程、洗浄工程etc

化合物ウェーハやMEMS製品等を対象とした、ウェーハ分割／合成作業を行う為の治具です。
通常25段カセットから倍ピッチカセットへの移し替えに使用されます。

(1)ウェーハ「分割」治具
キャリアカセットに収納された25枚内のウェーハから、偶数段もしくは奇数段だけを他のカセットに移しかえる分割作業用移し替え治具です。
2つのカセットを向い合せにセットし、移載レバーを軽く押すだけで確実な分割移し替え作業が可能です。

(2)ウェーハ「合成」治具
奇数段／偶数段で2つのカセットに分割されたウェーハを一つのカセットにまとめる為のウェーハ合成治具です。
2つのカセットを向い合せにセットし、移載レバーを軽く押すだけで確実な分割移し替え作業が可能です。
なお、奇数段／偶数段の高さはレバー操作で簡単に変更が可能です。

(1)(2)共に、カセットを向い合せにセットし、高さ切り替えレバーを合わせた後移載レバーを軽く押すだけで、カセットの中のウェーハをスムーズにスライドさせ確実な移し替えをおこなう事が出来ます。