薄くなったウェーハエッジ（べベル）部はナイフ状に尖っています。

この状態でエッジ部をガイドするとチッピングやカケ、割れが発生します。

その為、部分触式（接触材質：フッ素ゴム）にてウェーハのズレを防止いたします。

KUMADE独自の技術により、広範囲に負圧を発生させることが可能なため、薄くなったウェーハを安全・安心して搬送することが可能です。

ウェーハ事体が受けるストレスが吸着方式と比べると桁違いに（約1/360）低くなっております。

全面ポーラスチャックと比較してマイクロクラックの発生も解消されます。

KUMADE独自の自己整合保持機能により、反ったウェーハを大きな力で引き付けることが可能です。