
| KUMADE Holder(SFシリーズ) | 極薄ウェーハマニュアルハンドリングピンセット | |||
|---|---|---|---|---|
| 型式 | KMWH - 1A | KMWH - 6A | KMWH - 6B | KMWH - 8A |
| 適応品種 | 2〜4 inch | 3〜6 inch | 6〜8 inch | 8〜12 inch |
| 対応ウェーハ厚 | 20μm | |||
| 使用流体 | クリーンドライエアー・N2 | |||
| ウェーハホールドパドル材質 | アルミニウム合金 | |||
| クッション材 | フッ素樹脂 | |||
| グリップ材質 | ポリアセタール樹脂 | |||
| KUMADE Fork SFシリーズ | ロボット搭載型極薄ウェーハ搬送用エンドエフェクター | |||
|---|---|---|---|---|
| 型式 | KMWF - 05SF | KMWF - 06SF | KMWF - 08SF | KMWF - 12SF |
| 適応品種 | 5 inch | 6 inch | 8 inch | 12 inch |
| 対応ウェーハ厚 | 20μm | |||
| 使用流体 | クリーンドライエアー・N2 | |||
| ウェーハホールドパドル材質 | アルミニウム合金 | |||
| クッション材 | フッ素樹脂 | |||
| KUMADE Circle SFシリーズ | コインスタックケース・ステージ間移載型極薄ウェーハ搬送用 | |||
|---|---|---|---|---|
| 型式 | KMWC - 05SF | KMWC - 06SF | KMWC - 08SF | KMWC - 12SF |
| 適応品種 | 5 inch | 6 inch | 8 inch | 12 inch |
| 対応ウェーハ厚 | 20μm | |||
| 使用流体 | クリーンドライエアー・N2 | |||
| ウェーハホールドパドル材質 | アルミニウム合金 | |||
| クッション材 | フッ素樹脂 | |||
| KUMADE アライナー SFシリーズ | 極薄ウェーハアライメント用 | |||
|---|---|---|---|---|
| 型式 | KMAL - 05SF | KMAL - 06SF | KMAL - 08SF | KMAL - 12SF |
| 適応品種 | 08年夏リリース予定 | 8 inch | 12 inch | |
| 位置決時間 | 約 4Sec | |||
| 位置決精度 | ±0.1mm ±0.1° | |||
| 使用流体 | クリーンドライエアー・N2 | |||
| 制御方式 | RS232C | |||
| 電源 | DC24V ±10% 2A | |||
| KUMADE Fork 非接触シリーズ | ロボット搭載用エンドエフェクター | |||
|---|---|---|---|---|
| 型式 | KMWF - 05 | KMWF - 06 | KMWF - 08 | KMWF - 12 |
| 適応品種 | 5 inch | 6 inch | 8 inch | 12 inch |
| 使用流体 | クリーンドライエアー・N2 | |||
| ウェーハホールドパドル材質 | アルミニウム合金 | |||
| リスト材質 | アルミニウム合金 | |||
| ガイド | PEEK材 | |||
| KUMADE Circle 非接触シリーズ | コインスタックケース・ステージ間移載対応 | |||
|---|---|---|---|---|
| 型式 | KMWC - 05 | KMWC - 06 | KMWC - 08 | KMWC - 12 |
| 適応品種 | 5inch | 6 inch | 8 inch | 12 inch |
| 使用流体 | クリーンドライエアー・N2 | |||
| ベース材質 | アルミニウム合金 | |||
| ピン材質 | PEEK材 | |||
| KUMADE Cup | ガラス基板、リードフレーム、ICチップ搬送用 | |||
|---|---|---|---|---|
| 型式 | KMCP - 30CW | KMCP - 40CW | KMCP - 60CW | KMCP - 80CW |
| 適応品種 | 約10mm角チップ〜8世代ガラス基板対応 | |||
| 使用流体 | クリーンドライエアー・N2 | |||
| ベース材質 | アルミニウム合金 | |||
| KUMADE アライナー 非接触シリーズ | ||||
|---|---|---|---|---|
| 型式/Model | KMAL- 08EG | KMAL- 12EG | ||
| 適応品種/Wafer size | 8インチ | 12インチ | ||
| 位置決時間 | 約 4Sec | |||
| 位置決精度 | ±0.1mm ±0.1° | |||
| 使用流体/Fluid | クリーンドライエアー・N2/Clean dry air・N2 | |||
| 制御方式 | RS232C | |||
| 電源 | DC24V ±10% 2A | |||