仕様一覧

ストレスフリータイプ Stress Free (SF)

KUMADE Holder 極薄ウェーハマニュアルハンドリングピンセット

型式KMWH - 1AKMWH - 6AKMWH - 6BKMWH - 8A
適応品種2~4 inch3~6 inch6~8 inch8~12 inch
対応ウェーハ厚20μm
使用流体クリーンドライエアー・N2
ウェーハホールドパドル材質アルミニウム合金
クッション材フッ素樹脂
グリップ材質ポリアセタール樹脂

KUMADE Fork ロボット搭載型極薄ウェーハ搬送用エンドエフェクター

型式KMWF - 05SFKMWF - 06SFKMWF - 08SFKMWF - 12SF
適応品種*5 inch6 inch8 inch12 inch
対応ウェーハ厚20μm
使用流体クリーンドライエアー・N2
ウェーハホールドパドル材質アルミニウム合金
クッション材フッ素樹脂

*ご要望により2~4inchへの対応可能

KUMADE Circle コインスタックケース・ステージ間移載型極薄ウェーハ搬送用

型式KMWC - 05SFKMWC - 06SFKMWC - 08SFKMWC - 12SF
適応品種*5 inch6 inch8 inch12 inch
対応ウェーハ厚20μm
使用流体クリーンドライエアー・N2
ウェーハホールドパドル材質アルミニウム合金
クッション材フッ素樹脂

*ご要望により2~4inchへの対応可能

KUMADE アライナー 極薄ウェーハアライメント用

型式KMAL - 0408SFKMAL - 0012SF - TS
適応品種4~8 inch12 inch
位置決時間約 9~10 Sec
位置決精度±0.1mm ±0.1°
使用流体クリーンドライエアー・N2
制御方式RS232C
電源DC24V ±10% 2A

非接触シリーズ

KUMADE Fork ロボット搭載用エンドエフェクター

型式KMWF - 05KMWF - 06KMWC - 08SFKMWC - 12SF
適応品種*5 inch6 inch8 inch12 inch
使用流体クリーンドライエアー・N2
ウェーハホールドパドル材質アルミニウム合金
リスト材質アルミニウム合金
ガイドPEEK材

*ご要望により2~4inchへの対応可能

KUMADE Circle コインスタックケース・ステージ間移載対応

型式KMWC - 05KMWC - 06KMWC - 08KMWC - 12
適応品種*5 inch6 inch8 inch12 inch
使用流体クリーンドライエアー・N2
ベース材質アルミニウム合金
ピン材質PEEK材

*ご要望により2~4inchへの対応可能

KUMADE Cup ガラス基板、リードフレーム、ICチップ搬送用

型式KMCP - 30CWKMCP - 40CWKMCP - 60CWKMCP - 80CW
適応品種約10mm角チップ~8世代ガラス基板対応
使用流体クリーンドライエアー・N2
ベース材質アルミニウム合金

KUMADE アライナー

型式/ModelKMAL- 08EGKMAL- 12EG
適応品種8 inch12 inch
位置決時間約 4Sec
位置決精度±0.1mm ±0.1°
使用流体クリーンドライエアー・N2/Clean dry air・N2
制御方式RS232C
電源DC24V ±10% 2A
  • KUMADE ストレスフリータイプ Stress Free (SF)
  • KUMADE サイドコンタクトタイプ Side Contact (SC)
  • KUMADE べベルコンタクトタイプ Bevel Contact (BC)
  • KUMADE 搬送システム