製品情報

仕様一覧

KUMADE Holder(SFシリーズ) 極薄ウェーハマニュアルハンドリングピンセット
型式 KMWH - 1A KMWH - 6A KMWH - 6B KMWH - 8A
適応品種 2〜4 inch 3〜6 inch 6〜8 inch 8〜12 inch
対応ウェーハ厚 20μm
使用流体 クリーンドライエアー・N2
ウェーハホールドパドル材質 アルミニウム合金
クッション材 フッ素樹脂
グリップ材質 ポリアセタール樹脂
KUMADE Fork SFシリーズ ロボット搭載型極薄ウェーハ搬送用エンドエフェクター
型式 KMWF - 05SF KMWF - 06SF KMWF - 08SF KMWF - 12SF
適応品種 5 inch 6 inch 8 inch 12 inch
対応ウェーハ厚 20μm
使用流体 クリーンドライエアー・N2
ウェーハホールドパドル材質 アルミニウム合金
クッション材 フッ素樹脂
KUMADE Circle SFシリーズ コインスタックケース・ステージ間移載型極薄ウェーハ搬送用
型式 KMWC - 05SF KMWC - 06SF KMWC - 08SF KMWC - 12SF
適応品種 5 inch 6 inch 8 inch 12 inch
対応ウェーハ厚 20μm
使用流体 クリーンドライエアー・N2
ウェーハホールドパドル材質 アルミニウム合金
クッション材 フッ素樹脂
KUMADE アライナー SFシリーズ 極薄ウェーハアライメント用
型式 KMAL - 05SF KMAL - 06SF KMAL - 08SF KMAL - 12SF
適応品種 08年夏リリース予定 8 inch 12 inch
位置決時間 約 4Sec
位置決精度 ±0.1mm ±0.1°
使用流体 クリーンドライエアー・N2
制御方式 RS232C
電源 DC24V ±10% 2A
KUMADE Fork 非接触シリーズ ロボット搭載用エンドエフェクター
型式 KMWF - 05 KMWF - 06 KMWF - 08 KMWF - 12
適応品種 5 inch 6 inch 8 inch 12 inch
使用流体 クリーンドライエアー・N2
ウェーハホールドパドル材質 アルミニウム合金
リスト材質 アルミニウム合金
ガイド PEEK材
KUMADE Circle 非接触シリーズ コインスタックケース・ステージ間移載対応
型式 KMWC - 05 KMWC - 06 KMWC - 08 KMWC - 12
適応品種 5inch 6 inch 8 inch 12 inch
使用流体 クリーンドライエアー・N2
ベース材質 アルミニウム合金
ピン材質 PEEK材
KUMADE Cup ガラス基板、リードフレーム、ICチップ搬送用
型式 KMCP - 30CW KMCP - 40CW KMCP - 60CW KMCP - 80CW
適応品種 約10mm角チップ〜8世代ガラス基板対応
使用流体 クリーンドライエアー・N2
ベース材質 アルミニウム合金
KUMADE アライナー 非接触シリーズ
型式/Model KMAL- 08EG KMAL- 12EG
適応品種/Wafer size 8インチ 12インチ
位置決時間 約 4Sec
位置決精度 ±0.1mm ±0.1°
使用流体/Fluid クリーンドライエアー・N2/Clean dry air・N2
制御方式 RS232C
電源 DC24V ±10% 2A